二手HITACHI SU-5000 场发射扫描电镜

高性能电子光学系统

二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊

高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像

大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊

开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：

选配附件

规格

项目 内容

分辨率 1.2 nm @ 30 kV

3.0 nm @ 1 kV

2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1

3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)

30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

电子光学系统 电子枪 ZrO /W 肖特基式电子枪

加速电压 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)

着陆电压 减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

最大束流 > 200 nA

探测器 低位二次电子探测器

低真空模式*2 真空范围: 10 - 300 Pa

马达台 马达台控制 5 - 轴自动 (优中心)

可动范围 X：0～100mm

Y：0～50mm

Z：3～65mm

T：-20～90°

R：360°

最大样品尺寸 最大直径: 200 mm

最大高度: 80 mm

选配探测器

高分辨率顶位二次电子探测器＊1

高灵敏度低真空探测器 (UVD)

5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

能谱仪 (EDS)

波谱仪 (WDS)

背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1：

减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

*2：

低真空功能（包含5分割半导体探测器）

来源：深圳市心怡创科技有限公司

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来源链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH105026/C614898.htm